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技术资料

离子氮化炉的漏气检测方法

说明:以下检测方法仅适用于我所生产的系列辉光离子氮化炉,非我所的用户可供参照检测。


  离子氮化炉属低真空设备范畴,一般情况下,设备经过一段时间的使用,漏气情况多少会存在。在漏气较轻微的情况下,漏气一般不会对工件的氮化质量造成太大的影响(不锈钢系列除外),但如果设备漏气较严重,则漏气会影响到工件的氮化质量,必须予以检修。


  真空设备的检漏相对来说是比较困难的,通常采用“分段”检查的办法,即一段一段的检查。


  第一步:首先将炉体与供气系统分离,目的是分清漏气是由炉体造成的还是由供气系统造成的。


  将进气管与钟罩分离,然后将进气接头处封死(可使用我所提供的专用堵头或真空封泥)。启动真空泵抽真空,抽到较高真空度(如30Pa左右或更高)后,关闭蝶阀,停顿一段时间(15-30分钟)后,观察设备的漏气情况。


  第二步:在完成第一步工作后,若炉体漏气,则应逐个检查可能产生漏气的各密封部位(包括观察窗、充气装置、钟罩下部密封法兰面、底盘上的大密封圈、测压部分密封处、阴极部位密封处、蝶阀及抽气管道之间的联结法兰面等),直至炉体基本不漏气为止。


  注意:在实施以下检查步骤时,要遵循“分段”检查法的原则,即一个步骤一个步骤进行,每完成一个检查步骤后,抽真空观察检查效果,如果漏气问题得以解决,则不再进行其它检查。否则,再依次做检查(检查步骤可乱序进行。)


  1、检查观察窗的玻璃视镜是否破裂,若破裂则应予以更换。


  2、检查观察窗上紧固玻璃视镜的内六角螺钉是否松动,若有松动情况,则应予以紧固,但一定要对称均匀紧固,且用力不得过大,以免压碎玻璃。


  3、检查观察窗内外密封圈(白色)是否老化,若老化,则需更换新密封圈。


  4、卸掉炉体底座上的自动充气装置,用沾汽油的干净抹布除去密封橡皮和充气密封面上的灰渣,重新照原样安装好。


  5、检查炉体底盘上测压处的密封情况,紧固螺母若有松动予以紧固,若密封圈损坏应更换。


  6、检查阴极部位的密封情况,紧固螺母若有松动予以紧固,若密封圈损坏应更换。


  7、检查炉体钟罩底部密封法兰面,如有锈●!伎拥人鹕擞笆贝怼#ㄗ⒁猓好看蔚跗鹬诱趾螅Ψ胖糜谙鹌ぐ濉⒛痉交蚱渌崛淼闹С盼锷希苑浪鹕嗣芊夥ɡ济妗#


  8、检查炉体底盘上的大密封圈,如有损坏应及时修理或更换。(注意:每次吊起钟罩后,再次罩上钟罩前,先用干净毛刷将底盘及大密封圈上的灰渣除净,然后用沾汽油的干净抹布擦去密封法兰面及大密封圈上的灰渣,以防灰渣嵌入大密封圈中造成漏气。)


  9、检查抽气硬弯管各联结法兰面的紧固情况,若有松动,应均匀紧固。若密封圈损坏,应及时更换。


  10、检查碟阀内密封圈上是否粘有灰渣,若粘有灰渣可能造成蝶阀管不死而漏气。发现存有此种情况,应及时用沾汽油的干净抹布清理干净,然后涂上真空脂。注意:清理蝶阀密封圈时,切忌用汽油浸泡密封圈,否则密封圈涨大,蝶阀将无法开关。


  第三步:在完成第一步的工作后,若炉体不漏气,说明炉体各个密封部位完好。接着再慢慢地打开蝶阀,此时可能出现以下两种情况。


  1、真空度在打开蝶阀的瞬间有一微小的下降,但其后不再继续下降(即压升率在设备规定的范围内或压升率在工艺许可的范围内),则说明不锈钢抽气软管、电磁阀及其连接部位完好。


  2、如果真空度在打开蝶阀后持续下降,则说明电磁真空带充气阀、抽气不锈钢波纹软管或软管两端的连接密封部位可能漏气。出现这种情况,可按以下程序检漏。


  (1)首先检查波纹管两端的密封部位,若密封法兰松动应均匀紧固,若密封圈损坏应及时更换。


  (2)然后检查电磁阀内的密封圈是否粘有灰渣,若粘有灰渣可能造成漏气。发现存有此种情况,可用沾汽油的干净抹布将灰渣清理干净。


  (3)最后再检查波纹软管。检查可采用密封加压(压力为0.1MPa)的方法进行,加压后管体分段浸入水中,观察漏气部位。(加压时应避免波纹管伸长)


  第四步:在完成前三步工作,已解决炉体漏气问题或确认漏气不是由炉体引起后,重新将第一步中与炉体脱离的进气管连接到炉体钟罩上(并保证接头处密封完好),先关死各流量计,再启动真空泵对炉体抽真空。此步骤的目的是检查供气系统的漏气情况。


  若发现设备又存在漏气,可检查进气接头部分、气管、各种气源流量汇流三通各连接处的密封情况,直至漏气问题排除。


  (1)检查进气管与进气接头和流量计出口接头处的密封情况,若怀疑漏气,接头处可用真空封泥密封。


  (2)检查流量计能否关死。办法是堵死流量计的进口端,比较堵死与仅关闭流量计的漏气差异。如流量计关不死则需维修或更换。


  (3)检查输氨软管是否漏气,若发现老化漏气,应予更换。


  通常,完成上述几个步骤的检查后,炉体的漏气问题是可以解决的。


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